河南奥菲达仪器设备有限公司
额定加热功率kW:5工作室尺寸mm:80×350额定工作温度℃:室温~1200支持定制:是市场范围:全国
AFD-1200X单温区开启式管式炉采用双层风冷结构,炉体表面温度≤60℃,炉膛采用高纯度氧化铝微晶纤维高温真空吸附成型。内炉膛表面涂有1750℃美国进口的高温氧化铝涂层材料提高反射率及设备的加热效率和炉膛洁净度,同时延长仪器的使用寿命。进口加热电阻丝镶嵌延长炉体使用寿命,是专为高等院校﹑科研院所的实验室及工矿企业在可控多种气氛及真空状态下对金属,非金属及其它化合物进行烧结﹑熔化﹑分析而研制的理想设备。
1700℃管式炉Φ60/80
窗体底端
设备名称 真空管式炉(封闭式)
型 号 AFD1700-60 AFD1700-60II AFD1700-80 AFD1700-80II
基本参数 电源电压 AC 220V,50/60Hz AC 220V,50/60Hz AC 220V,50/60Hz
外形尺寸
设备重量 175Kg 175Kg
加热系统 加热功率 4Kw 4Kw 8Kw
加 热 区 300mm 300mm 300+300mm
恒 温 区 120mm(±1.5℃) 120mm(±1.5℃)
加热区数 单温区 单温区 双温区
极限温度 1700℃
使用温度 ≤1600℃
升温速率 ≤20℃/min(上限)
1000℃以内:≤10℃/min,1000℃以上:≤5℃/min(建议)
降温速率 1000℃以上≤10℃/min
测温传感器 B型热电偶 0.5mm国标
加热元件 1800型硅钼棒
炉 膛 1800型氧化铝板
收缩率小,导热系数低,保温效果好,耐用节能
控温仪表 厦门宇电 AI系列仪表,模糊PID控制和自整定调节功能
30段可编程控制,控温精度±1℃
真空系统 极限真空度 若选配我司高真空系统,可达1.33*10-4Pa(空炉冷态)
炉管及尺寸 刚玉管,60*1000mm 刚玉管,80*1000mm 刚玉管,80*1200mm
密度大,热震性好,耐酸碱,耐冲刷
隔热管堵 2只,氧化铝材质
标准法兰 Φ60,一套 Φ80,一套
硅胶密封圈 内径58*5.3mm,4只 外径80*5.7mm,4只
真空压力表 -0.1至0.15MPa
安 全防护 **温报警、断偶提示、过流保护、漏电保护
升级服务 控温仪表升级为欧陆仪表,控温精度可提升至±0.1℃
随机资料 使用说明书1份、保修证书1份
免费服务 免费送货(不含卸货);免费技术支持
质 保 期 12个月,易损件除外(如炉管、密封圈等)
PECVD系统 等离子体化学气相沉积系统
窗体底端
PECVD系统
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法。
本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
本设备主要由管式加热炉体,真空系统,质子流量供气系统,射频等离子源,石英反应腔室等部件组成。
主要特点:
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
供应管式炉可配高低真空系统
产品用途:主要用于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等行业进行真空烧结、气氛保护烧结、真空镀膜、CVD实验、物质成分测量等场合。
控制方式
模糊PID控制和自整定调节功能;智能化30段可编程控制。
密封方式不锈钢密封法兰。(包括针型阀、指针式真空压力表、软管接头)
控温精度±1℃
工作温度温度1200℃,连续工作温度≤1100℃
可充气氛氮气、氩气及其它惰性气体;通纯氢需配置自动点火装置(另购)
操作安全开门断电、**温报警、漏电保护功能
质量保证质保期1年,相关耗材除外,如加热元件易耗材等。
管式炉的调节方式
调节方式为PID调节方式,输入方式为热电偶输入,输出为单相调压(三相调压)触发。在使用马弗炉之前需要设定程序,在使用马弗炉的过程中PX表示当前炉内温度,SV表示设定程序中当前温度。
我司对退火炉进行升级改造。此次升级时,炉衬侧壁依旧保留加热元件保护槽,所有锐角倒钝,增加了面积。也使保护槽立柱抗震能力加强。炉衬**部拼接方向由纵改横,连接台阶,使得**部保温更好。对退火炉进行升级改造为适应客户需求马弗炉的程序控温之前有客户询问SV既然是设定值为何我设定1500℃但是SV显示的并不是这个数值。本司使用的程序控温仪表SV数值由程序控制调节输出功率,实现客户需要的多段程序控温的目的。直至程序设定温度到达时SV显示终温度该。
管式电炉产品描述
1.1本款管式炉以硅碳棒、硅钼棒或者电阻丝为加热元件,温度一般在1200度以上采用刚玉管。(注:1200度以下也可使用)
1.2采用双层壳体结构和30段程序控温系统,移相触发、可控硅控制,
1.3炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。
1.4采用技术,有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。
1.5具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。