管式炉是一种实验室设备,适用于金属,纳米,单晶硅,多晶硅,电池等的扩散焊接以及真空下的气体保护下,在真空或气氛状态下烧结各种新材料样品。采用国际技术,开发研制的节能环保电炉,管式炉有单管、双管、卧式、可开启式管式实验电炉。如要通各种气体也可以也可配备气体控制柜。
管式炉适用于工矿企业、大专院校,科研院所及实验室作真空或气氛状态下烧结各种新材料样品用。
一、管式炉用途:本系列电阻炉系周期作业式电炉。供实验室、工矿企业、科研单位等在无氧条件下做加热之用。本电炉还可以做为真空处理之用。
二、结构:本电炉外壳为圆柱或方体。炉壳用溥钢板焊制而成。工作室为一由耐火材料烧制成的整体炉膛,炉膛内有穿丝槽,加热元件放于穿丝槽内,炉膛与炉壳之间用保温材料或纤维填充。1300度采用硅碳棒加热,1600度采用硅钼棒加热。
内墙:采用高温纤维板或高温砖,多块精心搭建而成,它具有耐高温,耐酸碱,耐氧化等,不易裂,使用寿命长,导热慢,节能,特的炉膛设计,经久耐用,不垮塌,(根据炉温选择不同信号的耐火内墙材料)
中层保温:选用普铝、高铝、高铝含锆等陶瓷纤维材料保温,耐高温,导热小,无污染(根据不同温度而选择保温材料)
外层保温:高温毡或纳米纤维板,(根据不同温度而选择保温材料)
1200度200管径管式炉(标准/双温区/三温区)
窗体底端
设备名称 200管径管式炉(开启式)
型 号 TF1200-200 TF1200-200II TF1200-200III
基本参数 电源电压 AC 220V,50/60Hz AC 220V,50/60Hz AC 380V,50/60Hz
外形尺寸(宽*深*高)
设备重量 115Kg 135Kg 160Kg
加热系统 加热功率 6Kw 8Kw 12Kw
加 热 区 440mm 600mm(300+300) 900mm(300+300+300)
恒 温 区 150mm(±3℃) 300mm(±3℃) 600mm(±3℃)
加热区数 单温区 双温区 三温区
极限温度 1200℃ 1200℃ 1200℃
使用温度 <1100℃(大气或惰性气氛下),≤900℃(高真空条件下)
升温速率 ≤30℃/min(上限)
300℃以内:≤3-8℃/min,300℃以上:≤8-12℃/min(建议)
降温速率 700℃以上≤10℃/min
测温传感器 N型
电 热 丝 HRE合金丝
表面负荷高、电阻率高、抗氧化性能好、经久耐用
炉 膛 中日合资 1500型氧化铝多晶纤维一体成型
收缩率小,导热系数低,保温效果好,耐用节能
管式加热炉体
石英反应腔室 根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40,Φ60,Φ80,Φ100,Φ120,Φ150等规格可选。
真空系统 根据需求选择不同真空效果的真空系统。有DZK10-1(极限真空0.1Pa),GZK10-3(极限真空0.001Pa),以及进口高真空机组(极限真空0.0001Pa)供选择。
质子流量供气系统 根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路GQ-2Z,三路GQ-2Z,四路GQ-2Z,五路GQ-2Z或更多路供选择。
射频等离子源 根据需求选择强度不同的射频电源。有DLZ300(300W),DLZ500(500W)或更大功率的射频电源供选择。
常见PECVD系统组合 1. 1200度60滑轨式微型管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,300W射频电源
AFD1200-60S-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ300
2. 1200度60滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
AFD1200-60-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
3. 1200度60双温区滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
AFD1200-60II-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
4. 1200度60三温区滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
AFD1200-60III-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
5. 1200度60微型预热炉,1200度60滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
AFD1200-60S,MXG1200-60-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
管式电炉特点
1、控制精度:±1℃ 炉温均匀度:±1℃(根据加热室大小而定) 。
2、微电脑控制,操作方便,可编程,自动升温、自动保温、自动降温。
3、炉管采用刚玉99陶瓷。
4、不锈钢金属法兰密封(双胶圈)
5、炉体经精致喷塑耐腐蚀耐酸碱,炉体与炉膛隔离采用风冷炉壁温度接近室温 6、双回路保护(**温、**压、**流、段偶、断电等)
7、进口耐火材料,保温性能好,耐温高
8、真空表真空度 0至负0.1Mpa
9、电炉可通多种气体(氧气、氮气、氩气、氢气等)
10、温度类别:1000℃ 1400℃ 1600℃ 1700℃ 四种
11、本产品采用可靠的集成化电路,工作环境好,抗干扰